Begriffe wie Höchste Anforderungen, Feinreinigung, Endreinigung, Präzisionsreinigung, Ultra-Feinstreinigung und High Purity Cleaning werden häufig im gleichen Kontext verwendet, was mitunter zu Verwirrung führt. Klar ist, dass die Anforderungen oft nicht allgemein, sondern kunden- und in jedem Fall bauteilspezifisch sind. Eine konkrete Sauberkeitsspezifikation macht dann deutlich, welche Maßnahmen seitens Anlagentechnik und Chemie zu erfüllen sind.